Laserové čistenie je technika používaná na odstránenie kontaminantov z polovodičových doštičiek a ponúka presný a ne - metódu kontaktu na udržanie čistoty týchto citlivých komponentov. Je to obzvlášť cenné pri výrobe polovodičov z dôvodu potreby nedotknutých povrchov pri výrobe elektronických zariadení.
https://youtu.be/35wo9j5pxek?si {4bl
Ako to funguje:
Čistenie laserom využíva vysoké laserové impulzy intenzity na odstránenie kontaminantov, ako je prach, zvyšky alebo častice cez laserovú abláciu. Laserová energia je absorbovaná kontaminantom, čo spôsobuje, že sa odparí, sublimuje alebo sa vyhodí z povrchu, zatiaľ čo podkladový materiál do oblátky zostáva do značnej miery nedotknutý.
Výhody čistenia laserom pre polovodičové doštičky:
Presnosť:
Lasery sa môžu zamerať na kontaminanty s vysokou presnosťou, čím sa minimalizujú riziko poškodenia jemnej štruktúry oblátky.
Non - Kontakt:
Na rozdiel od tradičných čistiacich metód, lasery sa fyzicky nedotýkajú oblátky, čím sa znižujú riziko škrabancov alebo rozbitia.
Šetrné k životnému prostrediu:
Laserové čistenie často znižuje alebo eliminuje potrebu tvrdých chemikálií používaných v tradičných čistiacich procesoch.
Všestrannosť:
Rôzne nastavenia lasera je možné upraviť podľa rôznych materiálov a typov kontaminácie.
Konkrétne aplikácie:
Odstraňovanie častíc, kovových iónov a chemických nečistôt zo kremíkových doštičiek.
Čistiace oblátky a masky litografie.
Odstránenie kontaminantov zavedených počas označovania identifikácie laserom.
Príklad: Štúdia preukázala, že laserové čistenie by mohlo odstrániť častice rôznych veľkostí (vrátane 1 μm volfrámových častíc) z kremíkových doštičiek s vysokou účinnosťou. Ďalšia štúdia ukázala odstránenie malých častíc aluminy pomocou laserového čistenia šoku.
